揮發性有機物（VOCs）和氮氧化物（NOx）可以在大氣中通過一系列光化學反應生成臭氧（O3），其屬于二次污染物，對人體健康和生態環境均產生較大影響。《環境空氣質量標準》（GB 3095—2012）將臭氧8 h濃度作為一項監測指標，其參與空氣質量考核[1]。監測數據顯示，近年來，我國重點城市顆粒物污染有所減緩，但臭氧污染問題日益嚴峻，尤其在京津冀地區，O3濃度不降反升，其與PM2.5并列成為影響空氣質量的重要污染物，高質量的臭氧監測數據對打贏我國大氣污染防治攻堅戰起到基礎保障作用。
臭氧發生器采用氧氣源是臭氧技術的一個重大進步。和采用空氣源相比，氧氣氣源使臭氧發生器臭氧功能發生巨大變化。
1.氧氣源使臭氧出口濃度提高8-10倍。空氣源臭氧發生管出口濃度高為9-11mg/L,低小于1mg/L。而采用氧氣，出口濃度可達80-130mg/L。
2.氧氣源使臭氧殺菌或氧化能力大大提高。高濃度氧氣產生高濃度臭氧。從而使臭氧殺菌或氧化能力大大提高。有些細菌病毒用空氣源臭氧很難殺死，采用氧氣源臭氧就很容易殺死。有些化合物只有采用氧氣源臭氧才能氧化。
3.氧氣源使臭氧產量提高3-5倍。氧氣源臭氧發生器比空氣源臭氧發生器提高產量3-5倍。大大提高了臭氧發生管的利用效率。
4.氧氣源沒有氮化物污染。臭氧管采用空氣源時，因為空氣中含78%的氮氣，所以在產生臭氧的同時會有氮化物產生。而采用氧氣源避免了氮化物的產生。
5.氧氣源系統體積小。臭氧發生器采用空氣源，氣體的前期處理結構龐雜，結構比氧氣源臭氧發生器至少大3倍，耗電相應增加，導致成本增加，維護費用增加。采用制氧機提供氧氣，臭氧濃度大大提升，綜合造價大大降低。
